小型真空等離子清洗機表面處理設(shè)備，它是利用能量轉(zhuǎn)換技術(shù)，在一定真空負壓的狀態(tài)下，以電能將氣體轉(zhuǎn)化為活性的氣體等離子體，氣體等離子體能輕柔沖刷固體樣品表面，引起分子結(jié)構(gòu)的改變，從而達到對樣品表面有機污染物進行超清洗，在極短時間內(nèi)有機污染物就被外接真空泵*抽走，其清洗能力可以達到分子級。在一定條件下還能使樣品表面特性發(fā)生改變。因采用氣體作為清洗處理的介質(zhì)，所以能有效避免樣品的再次污染。小型真空等離子清洗機既能加強樣品的粘附性、相容性和浸潤性，也能對樣品進行消毒和殺菌。
小型真空等離子清洗機安裝時應(yīng)遵循下列步驟：
1、連接好等離子清洗機與真空泵之間的真空管路，緊固好O型卡和鎖緊帽，做到連接處密封且不漏氣。
2、接通供電電源和真空泵電源，在此之前檢查所有按鈕必須處于復(fù)位狀態(tài)，同時檢查所供電源插座的L、N、E的接線是否與機箱后的AC220V輸入插頭相一致，以免發(fā)生危險動作。
3、第一次開機，不做其它操作，直接打開機體上紅色電源開關(guān)、真空泵開關(guān)，輕輕推關(guān)腔門，然后按綠色啟動鍵抽真空，目的是去潮除濕，同時檢查是否有漏氣部位：聽漏氣聲響；拉動真空倉門是否密封；觀察壓力表到達-100Kpa左右；若無上述狀況即為正常
4、
A、打開電源，先在顯示屏里設(shè)定清洗時間；
B、將托盤承載的產(chǎn)品放入反應(yīng)室內(nèi)；
C、輕推反應(yīng)腔門，按面板上綠色啟動開關(guān)，真空泵開始工作。
D、壓力表真空值-101KPa左右，看到離子輝光放電現(xiàn)象，進入處理狀態(tài)；同時可設(shè)定功率大小、反應(yīng)氣體注入量；（反應(yīng)氣體是根據(jù)工藝需求選配，不使用時鎖緊關(guān)閉，）
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