1、連接等離子清洗機和真空泵之間的真空管路，緊固O形圈卡和鎖緊蓋，確保連接密封且無漏氣。
2、連接電源和真空泵電源。在此之前，請檢查所有按鈕是否必須處于重置狀態。同時，檢查電源插座的L、N、E接線是否與機箱后面的AC220V輸入插頭一致，以避免危險動作。
3、第一次打開機器本體上的紅色電源開關和真空泵開關，不做其他操作，輕輕推并關閉腔室門，然后按下綠色啟動按鈕進行真空，以去除濕氣和除濕。同時，檢查是否有漏氣部分：傾聽漏氣的聲音；拉動真空室門，看其是否密封；觀察壓力表達到-100Kpa左右；沒有上述情況是正常的。
4、操作步驟：
(1)打開電源并在顯示屏上設置清潔時間；
(2)將托盤上裝載的產品放入反應室；
(3)輕輕推反應室門，按下面板上的綠色啟動開關，啟動真空泵。
(4)壓力表真空值約為-101KPa，可見離子輝光放電現象，壓力表進入處理狀態；同時，可以設置功率和反應氣體注入量。
小型真空等離子清洗機的安裝注意事項：
1、保持機器和設備外部干燥。嚴禁在水或冷凝的情況下使用機器和設備的所有部件；
2、為確保自身安全，操作人員必須高于電氣水平面40cm；
3、嚴禁將變壓器箱安裝或放置在金屬材料上。如果機器和設備周圍有金屬材料，應保持20cm以上的距離。否則，渦流損耗會增加變壓器箱的功率和溫度，甚至引起超高壓電級和金屬材料的自放電。
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